技術(shù)指標

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考氣體兼容表

            一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量范圍    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯 示 屏    帶按鍵背光開關(guān)，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± （0.8%讀數(shù)+ 0.2%滿量程）精度升級部分見左下角

            ± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）

響應(yīng)時間    127 ms（可調(diào)）

預(yù)熱時間    < 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選低溫選項）

溫度精度    ± 0.75℃

充電溫度    0 ～ 45 ℃

工作濕度    0～95%，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 KPa

最di操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm），或±0.1SIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@19200波特率

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號   RS232

供電電壓    5 VDC （Micro-USB-B）

電氣接口     Micro-USB-B

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

續(xù)航時間    黑白屏 18小時，彩屏 5小時

材    質(zhì)    302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金（可選主體鋁材質(zhì)）

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）